靶材的分類及應用方向?什麼是靶材?

2025-04-16 05:15:24 字數 5264 閱讀 6693

1樓:網友

一、根據不同材質靶材。

可分為:金屬靶材,陶瓷(氧化物、氮化物等)靶材,合金靶材。

二、根據不同應用方向可分為(瞭解)

1、半導體關聯靶材:

電極、佈線薄膜:鋁靶梁信毀材,銅靶材,金靶材,銀靶材,鈀靶材,鉑靶材,鋁矽合金靶材,鋁矽銅合金靶材等。

儲存器電極薄膜:鉬靶材,鎢靶材,鈦靶材等。

粘附薄膜:鎢橡備靶材,鈦靶材等。

電容器絕緣膜薄膜:鋯鈦酸鉛靶材等。

2、磁記錄靶材:

垂直磁記錄薄膜:鈷鉻合金靶材等。

硬碟用薄坦虛膜:鈷鉻鉭合金靶材,鈷鉻鉑合金靶材,鈷鉻鉭鉑合金靶材等。

薄膜磁頭:鈷鉭鉻合金靶材,鈷鉻鋯合金靶材等。

人工晶體薄膜:鈷鉑合金靶材,鈷鈀合金靶材等。

3、光記錄靶材:

相變光碟記錄薄膜:硒化碲靶材,硒化銻靶材,鍺銻碲合金靶材,鍺碲合金靶材等。

磁光碟記錄薄膜:鏑鐵鈷合金靶材,鋱鏑鐵合金靶材,鋱鐵鈷合金靶材,氧化鋁。

靶材,氧化鎂。

靶材,氮化矽。

靶材等。

2樓:江西國材科技****

靶材按材質可分為:常規金屬靶材,***靶材,稀土金屬靶材,半導體靶材,合金靶材,陶瓷靶材(氧化物氮化物),複合摻雜靶材等。

靶材按形狀可分為:方靶、圓靶、圓片、圓臺、矩形、如哪片納橡辯材、臺階片、管材、圓環、旋轉靶材。

應用方向可分為:半導體晶元靶材、平面顯示器靶材、太陽能電池靶材、資訊儲存靶材、工具改性靶材、電洞缺子器件靶材等。

什麼是靶材?

3樓:娛樂休閒

靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不鏽鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

目前,(純度)濺射靶材按照化學成分不同可分為:

1)金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)。

2)合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合等)。

3)陶瓷化合物靶材(氧化物、矽化物、碳化物、硫化物等)。

按開關不同可分為:長靶、方靶、圓靶。

按應用領域不同可分為:半導體晶元靶材、平面顯示器靶材、太陽能電池靶材、資訊儲存靶材、具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。

金屬靶材的鋁、鈦、銅、鉭,在半導體晶圓製造中,200mm( 8寸)及以下晶圓製造通常以鋁製程為主,使用的靶材以鋁、鈦元素為主。300mm( 12寸)晶圓製造,多使用先進的銅互連技術,主要使用銅、鉭靶材。

4樓:江西國材科技****

靶材是製備薄膜的主要材料之一。

利用高速荷能粒子轟擊目標材料,與不同的雷射(離子束)和不同的靶相互作用,獲得不同的膜系,實現傳導和阻隔功能。

因此,靶材也被稱為「濺射靶材」。

離子源產生的離子在真空中加速並聚集,形成高速能量離子束,它轟擊固體表面,離子與固體表面上的原子發生動能交換,使固體表面上的原子離開固體,沉積在襯底表面。被轟擊的固體是濺射靶。主要應用於積體電路、平板顯示器、太陽能電池、記錄介質、智慧型玻璃等,對材料純度和穩定性要求較高。

全品類靶材圖。

靶材是什麼材料

5樓:健身達人小俊

靶材。就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。

靶材是通過磁控濺射。

多弧離子鍍或其他型別的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。

靶材用於高能激辯坦橡光**中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的雷射與不同的靶材相互作用時,會產生不同的殺傷破壞效應。例如:蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等攜旁。

更換不同的靶材(如鋁、銅、不鏽鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。信弊。

根據靶材的應用進行分類有多少種?主要有哪些靶材?

6樓:北京中諾新材

根據靶材。的應用進行劃分,主要包括半導體領域應用靶材、記錄介質用靶材、顯示薄膜用靶材、光學靶材、超導靶材等派豎。

半導體關聯靶材。

半導體領域應用靶材主要包括電極佈線膜用靶材、阻擋膜用靶材、粘附膜用靶材、歐姆接觸。

膜用靶材和電阻膜用靶材。

通常,純al和al合金靶材用於積體電路和功耗較小的分立器件。

中au靶材則主要用於功率電晶體和微波器件等阻擋膜用靶卜橡材主要是w,mo等難熔金屬和難熔金屬矽化物粘附膜用靶材主要有ti,w等電阻膜用靶材有nicr,mosi2,wsi等記錄介質用靶材。

記錄介質用靶材分為磁記錄介質用靶材、光記錄介質用靶材兩類。

磁記錄介質用靶材主要有鈷鉻系合金和鐵及鐵的氧化物靶材;光記錄介質常見的膜層有反射膜、記錄膜、保護膜等。

反射膜用純al或al合金靶材濺射沉積製成。

記錄膜用稀土2過渡金屬靶材濺射沉積製成,如gdco,gdfe,dyfe,gdtbfe,fetbco等保護膜則用si靶在n2氣氛中反應濺射沉積獲得。

顯示器件用靶材。

透明導電膜包括以金屬基、氧化物半導體基為主的各塵弊大種材料。

目前,ito靶作為製備高效能透明導電膜的最好材料,還沒有其他材料可代替。

除ito靶外,用於製備顯示器件薄膜的靶材還包括:

製備電極佈線膜用的難熔金屬。

製備電極佈線膜和遮光薄膜的al及al合金靶材。

製備電致發光薄膜發光層的zns-mn靶材。

製備電致發光薄膜絕緣層的y2o3和batio3等靶材。

靶材的作用和用途?

7樓:乾萊資訊諮詢

1、微電子領域。

在所有應用產業中,半導體產業對靶材濺射薄膜的品質要求是最苛刻的。如今12英吋(300衄口)的矽晶片已製造出來.而信碼互連線的寬度卻在減小。矽片製造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細晶粒,這就要求所製造的靶材具有更好的微觀結構。

2、顯示器用。

平面顯示器(fpd)這些年來大幅衝擊以陰極射線管(crt)為主的電腦顯示器及電視機市場,亦將帶動ito靶材的技術與市場需求。如今的ito靶材有兩種.一種是採用奈米狀態的氧化銦和氧化錫粉混合後燒結,一種是採用銦錫合金靶材。

3、儲存用。

在儲存技術方面,高密度、大容量硬碟的發展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,cof~cu多層複合膜是如今應用廣泛的巨磁阻薄膜結構。磁光碟需要的tbfeco合金靶材還在進一步發展,用它製造的磁光碟具有儲存容量大,壽命長,可反覆無接觸擦寫的特點。

8樓:江西國材科技****

材料是一種物質,廣泛應用於各種工業和科學領域,具有以下作用和用途:

1. 結構材料:用於建築、橋樑、機械等結構件的材料,能夠承受力的作用,如鋼、混凝土、木材等。

2. 功能材料:針孝橋蠢對特定的功能設計,如電子元件、消肢光學器件、磁性材料等,能夠滿足所需的特殊性質。

3. 生物材料:用於醫療保健、生物工程等領域,如人工器巧陪官、骨骼替代材料、醫用聚合物等。

4. 能源材料:用於能源儲存和轉換,如鋰離子電池、太陽能電池、燃料電池等。

5. 環境材料:用於環境保護和治理,如空氣汙染治理材料、水處理材料等。

金屬靶材的應用

9樓:木兮

鎢-鈦(w-ti)膜以及以鎢-鈦(w-ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列不可替代的優良效能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹係數等效能,w/ ti 合金具有低的電阻係數、良好的熱穩定效能和抗氧化效能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬佈線,例如al 、cu 和ag 等已經被廣泛的應用和研究。

但是佈線金屬本身易 氧化、易與周圍的環境發生反應,與介質層的粘結性差,易擴散進入si 與sio2 等器件的襯底材料中,並且在較低的溫度下會形成金屬與si 的化合物, 充當了雜質的角色,使器件的效能大幅度下降。而w-ti 合金因具有穩定的熱機械效能、低的電子遷移率、高的抗腐蝕效能和化學穩定性使其很容易作為佈線擴散阻擋層,特別是適合在高電流和高溫的環境下使用。

陶瓷靶材的種類有哪些?各自應用在什麼方向?

10樓:醇香巧克力餅乾

一、按用途分。

1、日用陶瓷:如餐具、茶具、缸,壇、盆、罐、盤、碟、碗等。

2、藝術(工藝)陶瓷:如花瓶、雕塑品、園林陶瓷、器皿、相框、壁畫、陳設品等。

3、工業陶瓷:指應用於各種工業的陶瓷製品。又分以下4各方面:

建築一衛生陶瓷: 如磚瓦,排水管、面磚,外牆磚,衛生潔具等;

化工(化學)陶瓷: 用於各種化學工業的耐酸容器、管道,塔、幫浦、閥以及搪砌反應鍋的耐酸磚、灰等;

電瓷: 用於電力工業高低壓輸電線路上的絕緣子。電機用套管,支柱絕緣子、低壓電器和照明用絕緣子,以及電訊用絕緣子,無線電用絕緣子等;

特種陶瓷: 用於各種現代工業和尖端科學技術的特種陶瓷製品,有高鋁氧質瓷、鎂石質瓷、鈦鎂石質瓷、鋯英石質瓷、鋰質瓷、以及磁性瓷、金屬陶瓷等。

二、按材料分。

粗陶, 細陶 ,炻器,半瓷器,以至瓷器,原料是從粗到精,坯體是從粗松多孔,逐步到達致密,燒結,燒成溫度也是逐漸從低趨高。

11樓:匿名使用者

提供各類化合物陶瓷靶材和鍍膜材料,產品包含氧化物、氟化物、氮化物、碳化物、硼化物、硫化物、矽化物、硒化物、碲化物、磷化物。

12樓:江西國材科技****

陶瓷靶材的種類很多,常見的有以下幾種:

1. 氧化物陶瓷靶材:包括氧化鋁、二氧化鈦、氧化鋯等。主要用於塗層、光學薄膜、電子器件等方面。

2. 碳化物陶瓷靶材:包括碳化矽、碳化鎢等。主要用於製備超硬薄膜、高溫陶瓷等。

3. 硼化物陶瓷靶材:包括氮化硼、碳化硼等。主要用於製備高溫、高硬度、高強度陶瓷薄膜等。

4. 金屬陶瓷靶材:包括銅、鉻、鎳等。主要用於製備電子元件、微電子器件等。

5. 其它陶瓷靶材:包括非晶體金屬薄膜、複合材料陶瓷等。主要用於製備各種特殊功能的陶瓷薄膜。

不同的陶瓷靶材適合不同的應用領域,如製備薄膜、光學鍍膜、電子元件等。其中,氧化物陶瓷靶材廣泛應用於微電子、光電子、資訊科技等領域;碳化物陶瓷靶材應用於製備超硬薄膜和高溫陶瓷;硼化物陶瓷靶材則適用於製備高溫、高硬度、高強度的陶瓷薄膜等。

靶材的作用和用途?

13樓:匿名使用者

靶材就是目標材料。用於高能雷射**中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的雷射與不同的靶材相互作用時,會產生不同的殺傷破壞效應。用於物理鍍膜中的濺鍍,主要有金屬靶材和陶瓷靶材。

不知道你想問的是哪個領域使用的。

14樓:網友

高速荷能粒子轟擊的目標材料。

15樓:匿名使用者

靶材就是目標材料。

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