1樓：匿名使用者
主要有表面微加工技術，體矽微加工技術，liga，soi技術等。
1、表面微加工技術，主要分為薄膜生成技術和犧牲層技術。前者指採用蒸鍍和澱積等方法，在矽沉底上表面上製作各種薄膜，並和矽襯底構成乙個復合的整體。犧牲層技術，即形成空腔結構過程中，將兩層薄膜中的下層薄膜設法腐蝕掉，便可得到上層薄膜，並形成乙個空腔。
被腐蝕掉的下層薄膜在形成空腔過程中，只起分離作用，故稱為犧牲層(sacrificial layer)。
2、體矽微加工技術，是指通過去除基底材料得到所需的三維形狀的技術。技術的核心就是刻蝕技術，具體包括光刻、化學刻蝕、乾法刻蝕。包括化學腐蝕和離子刻蝕等。
3、liga技術liga技術是以德國為代表，liga是德文lightgrapie、galvanoformung和abformung三個詞，即光刻、電鑄及塑鑄的縮寫。它主要包括：x光深度同步輻射光刻、電鑄製膜及注膜複製三個工藝步驟。
mems感測器是什麼意思
2樓：
mems感測器即微機電系統（microelectro mechanical systems）
是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。
截止到2023年，全世界有大約600余家單位從事mems的研製和生產工作，已研製出包括微型壓力感測器、加速度感測器、微噴墨列印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中mems感測器佔相當大的比例。mems感測器是採用微電子和微機械加工技術製造出來的新型感測器。
3樓：胖美美
mems感測器即微機電系統，是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。
與傳統的感測器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適於批量化生產、易於整合和實現智慧型化的特點。同時，在微公尺量級的特徵尺寸使得它可以完成某些傳統機械感測器所不能實現的功能。
掘進工和採煤工的區別，煤礦掘進工是不是技術工種
我談一下個人理解 在煤炭開採過程中，要先打通巷道，也就是用來做運輸 行人和通風用的通道，才能進行採煤。一般來講，掘進要先於採煤。總的來說，掘進工是從事與巷道掘進相關工作的工人 採煤工是從事與採煤相關工作的工人。根據各礦井的機械化程度不同，掘進分為炮掘和綜掘。在炮掘的過程又分為打眼 裝藥 放炮 運渣，...
什麼是軟體技術，就業前景如何，主要從事什麼工作
其實學習軟體工程只要有興趣都可以申請，不管是內向的學生還是外向的學生，現在都適合男生，這樣的專業畢業後大部分的工作都要加班，女生不一定能忍受，那麼接下來就介紹一下這5類軟體工程專業，畢業後就業前景非常好，值得報考。1 web前端開發工程師 這個職位在重慶的收入在一萬左右，在經濟發達的城市的收入更高，...
技工和技術工有區別嗎，技工和普工有什麼區別
技工是在行業裡技術達到相當高度，而技術工其實在工作中能熟練操作的工人，技工遠遠高於技術工，他們是兩個概念。技工和普工有什麼區別 技工技工的含義是指有專長或職業技能的技術人員，技工工種大約有3類，憑藉著本身的技能，負責著某一工作領域或生產製造流水線的正常執行。隨著社會的不斷髮展，出現了 高階技工 這個...